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水蒸气捕集是Dale Meissner在20世纪70年代提出的一个概念,用来缩短抽真空的时间,降低真空度以增强真空镀膜涂层。在抽真空系统中,既可以使用泵组从真空腔室里抽走气体分子,也可以通过超低温表面将水蒸气分子冷凝捕集。
在大型真空系统里,真空获得组件可由多种型号的真空泵组成,且一定包含带罗茨泵的前级真空泵。不同型号和尺寸的真空泵组合多样化,使得工作真空度和抽气能力能够满足真空工艺要求。
在高真空系统内,水气分子是最典型的具有副作用的污染气体,VaporCold 系统可把水气分子凝结在超低温表面上,快速地从真空系统中捕集和抽除水气分子,能缩短 20% ~ 75%的抽真空的时间,缩短工作周期,提高产量和品质。
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